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行业通常根据光引擎与计算芯片的集成度,以及电信号传输距离,把光互连划分为设备级和芯片级两个层级。
电信号在设备级互连中要走米级甚至分米级的距离;到了芯片级光互连,这个距离被压缩到 cm、mm 级,形成了三级演进路线。

其中,CPO 是将光引擎与 xPU 集成在同一块基板或中介层上,最大程度缩短电信号传输路径,在芯片侧直接完成光电转换。
目前全球 CPO 产业主要分为三大技术路线:外置光源 ELSFP 加硅光光引擎、VCSEL 阵列光引擎、Micro-LED 阵列光引擎。

路线一:外置光源 ELSFP + 硅光光引擎
当前产业主流路线是外置激光源加硅光光引擎。光引擎通过 ELSFP 外置激光源模块获取连续波激光,交由专用调制器完成电光信号转换,属于间接调制方案。
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用于外置光源 ELSFP 的调制器主要有 MZM 和 MRM 两类方案。
其中,MZM(马赫-曾德尔调制器)由输入 Y 型分支器、两个平行波导臂和输出 Y 型分支器构成,通过电极施加电压改变波导折射率,使两臂产生相位差,再经干涉实现光强调制。
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MZM 的优势是工作波长范围宽、热稳定性强、传输距离远,支持多波长波分复用。
但是它的器件尺寸偏大,通常在 mm 级,驱动电压也大,单芯片可集成的通道数与能效比提升空间因此受限。
MRM(微环调制器)采用的是环形谐振腔结构,由环形波导与总线波导耦合构成,在微环 PN 结上施加电压改变有效折射率,使谐振波长漂移,实现光强调制。

微环 CPO 的器件尺寸可以做到极小,驱动电压低,通过多微环阵列与波分复用组合,单颗 PIC 就能支撑上百个高速光通道,是当前 CPO 技术主流的调制器方案。
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微环方案的短板是谐振波长对温度高度敏感,高温下易出现波长漂移,必须配套温控与热补偿设计。

路线二:VCSEL 阵列光引擎
第二条路线是基于 VCSEL 阵列的光引擎。VCSEL 即垂直腔面发射激光器,不需要独立调制器,属于直接调制方案,通过改变注入电流直接完成电光信号转换。

由于是直接从芯片表面垂直往上发光,光斑是圆形对称的,对反射光不敏感,通常只需要一个透镜就能把光高效地送进光纤,隔离器可以节省,因此 VCSEL CPO 的结构因此简化。
同时,VCSEL 还天生适合做成阵列,这为大规模集成提供了便利,例如博升的 3×12 VCSEL 阵列。

此外,古河电工的基于有机基板集成 8 通道 VCSEL/PD 阵列,跨阻放大器和 VD 芯片对称布置,光口使用 24 通道 MT 连接器,并集成塑料微透镜阵列来实现高效耦合。

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基于 VCSEL 的 CPO 方案,器件结构简单、工艺成熟,量产成本较低。直接调制架构带来的损耗小,单比特功耗表现也很出色。
但是,砷化镓与硅基 CMOS 芯片之间存在晶格失配,难以实现深度共封装,混合集成良率不高。
此外,单通道速率提升困难,高温稳定性差,无法支撑单路 200 Gbps 以上的超高速传输。
光信号在传输过程中的损耗也偏高,有效传输距离只有几十米,满足不了跨机柜的长距组网需求。
路线三:Micro-LED 阵列光引擎
第三条路线是基于 Micro-LED 阵列的光引擎。Micro-LED,有时也写作 μLED,即微型发光二极管,以氮化镓为基底制备微米级发光单元,可以组成二维高密度阵列。

Micro-LED 是「宽而慢」多路低速通道并行叠加的技术思路,依靠大量低速率通道实现超高总带宽,天然支持空分复用。
比如微软的基于 Was 慢而宽的 MOSAIC 方案,一条 800Gbps 链路可部署 460 颗 Micro-LED(含冗余),以 20×20 网格排列,每颗 LED 的速率为 2Gbps(Micro-LED 与 Was 架构,微软与 Avicena 的 Micro-LED 方案)。

在三条路线中,Micro-LED CPO 方案的上限最高:二维阵列集成能力最强,带宽密度可以突破 Tbps/mm²;链路功耗潜力可达亚 pJ/bit,能效优于硅光与 VCSEL。
当前 Micro-LED 的主要挑战在于 100 Gbps 及以上速率时调制响应不稳、失真较大;氮化镓集成工艺不成熟,良率偏低。
同时长期高负载工作下易出现衰减失效,可靠性尚未达到产业要求。

总结
总的来说,三类方案最终将形成长期差异化共存的局面。
硅光加外置激光器方案将继续作为 CPO 的核心主线,VCSEL 会立足细分市场发挥价值,Micro-LED 值得长期跟踪。

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