传统 Si-PIN 光电二极管在 P 型和 N 型半导体之间加了一层 I 层,也叫本征层,通常用作吸收层。

I 层吸收光子后产生电子-空穴对。在反向偏置电场下,电子向 N 侧漂移,空穴向 P 侧漂移,两种载流子一起形成光生电流。

吸收层不一定用硅。比如 InP 基 InGaAs PIN 用 InGaAs 做吸收层,硅基集成 Ge-PIN 探测器用 Ge 薄膜做吸收层。

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理想情况下,I 层完全本征、没有掺杂;实际中,不管有意还是无意,它都会有一些低浓度的弱掺杂。
传统 PIN 里,电子和空穴都会贡献光生电流,它们在耗尽层中向两侧运动的速度会影响光响应速度,也就是带宽。
由于电子漂移速度比空穴快很多,因此载流子的渡越时间限制主要来自空穴。

所以,为了让空穴漂移更快,可以用轻 N 型背景做掺杂。
这样耗尽区内的电场不再是平直均匀的,而是从 N 侧向 P 侧逐渐增强,空穴往 P⁺ 漂移时经过的电场更强,漂移速度也就更快。

但这种方案里,空穴仍然是带宽的主要限制,不能完全消除。另一种更彻底的做法是只收集电子,让电子作为主要的载流子,而空穴不参与导电。

具体来说,在外加电压下,电子收集层会产生强电场,光生电子从吸收层向收集层运动,光生电流基本完全由吸收层来的电子产生。

漂移阻挡层主要阻挡空穴进入漂移区,电子则进入漂移层,最终被收集层收集。
这种只有电子参与光生电流的探测器,就是单向载流子探测器,英文 Uni-Traveling-Carrier Photodiode,简称 UTC-PD。

和传统 PIN 不同,UTC-PD 把吸收区和漂移收集区分开:吸收区是重掺杂 p⁺-InGaAs,漂移收集区是 n-InP。
空穴不需要经过长漂移路径,慢空穴对带宽的限制被消除,因此可以实现很高带宽。
但是呢,缩短载流子渡越路径虽然能提升带宽,但也会降低光吸收。可以通过折射,让光以边缘耦合方式进入探测器,即波导型 UTC-PD。
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光入射到斜面发生折射,然后以一定角度斜入射到吸收层中,相比直接背入射,增大了光吸收面积。
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