标签： 波导型探测器

光电探测器按入射方式分为面入射型和波导型：面入射的 I 区厚度制约响应度与带宽，波导型以更小的结电容减轻 TIA 负担。本文梳理边缘耦合与倏逝波耦合两种方案，以及锥形模斑变换器、电极设计等提升响应度的手段。