Lumentum 的三层台阶台面结构 APD

本文要点

• 比如两层台阶结构，只有最上面的 p 型接触层尺寸缩小，吸收层和下面各层侧壁是对齐的。
• 这样确实能降低倍增层内的击穿风险，但电场（E2）从 p 接触层边缘开始，在吸收层里横向扩散的范围很大，导致耗尽区很宽，寄生电容升高，不利于高速工作。
• 另外，还可以在倍增层下面加电子传输层和电场降低层，进一步优化电场、减电容、提速度。