索尔思：高速 EML 芯片的工艺流程与改进

本文要点

• EML 芯片需要在同一衬底上集成 DFB 激光器与 EAM 电吸收调制器。
• DFB 负责发光，EAM 负责调制，两者共同完成光信号的输出。
• DFB 和 EAM 对波导深度的要求不一样。