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NTT:用于CPO的薄膜EA-DFB激光器演进与系统级验证

NTT:用于CPO的薄膜EA-DFB激光器演进与系统级验证

Posted on 2026-11-132026-11-13 by

这几年 NTT 一直在做 III-V/Si 异质集成的 EA-DFB 激光器和电吸收调制器(EAM),目标就是把它们放进 CPO 方案里。

2025 年的方案明确面向 CPO,实现了无温控以及宽温 / 宽波长耐受。它采用外置光源,好处是散热好、易于更换。

NTT 薄膜 EA-DFB 激光器从外置光源到 PIC 内置集成的演进对比 图1

但是外置光源也有代价:光必须经过光纤接口和无源硅光电路,会引入额外的耦合损耗、路由损耗和模式转换损耗。此外,单光源共享给多个 EAM 时,为了补偿分束损耗,需要更高的发射光功率,通道数越多问题越严重。

外置光源方案经光纤接口与无源硅光电路引入损耗的示意 图2

2026 年 OFC,NTT 把膜结构 EA-DFB 光源直接做进 PIC 里,取代了外置光源和 1×4 分束器,并演示了 400 Gbit/s/lane 的性能。

2026 OFC 膜结构 EA-DFB 光源集成进 PIC 取代外置光源的示意 图3

今天更新一下 NTT 薄膜 EA-DFB 的最新进展。ECOC 2026 上,NTT 沿用了上半年的思路,把 EA-DFB 集成在 PIC 内部。

ECOC 2026 把 EA-DFB 集成在 PIC 内部的方案示意 图4

其中,膜层 DFB 激光器 36.2 mW,驱动 EIC 40.4 mW,总功耗 76.6 mW。在 64 Gbit/s 下,Tx 芯粒的能耗是 1.20 pJ/bit。

这颗 PIC 上集成了 8 通道 EA-DFB 激光器阵列,通过前后段失谐光栅实现单模输出。EAM 和激光器共享 InGaAsP 有源层,负责调制光,后面接锥形过渡波导做光模斑尺寸转换,降低与后续波导的耦合损耗。

8 通道 EA-DFB 激光器阵列与前后段失谐光栅结构示意 图5

和 OFC 2026 的 InGaAlAs 有源区不同,这里用的是 InGaAsP,谱峰大概 1535 nm,落在 C 波段。

DFB 激光器长 100 μm,EAM 长 100 μm,中间是 250 μm 的 InP 沟道波导,提供电隔离,防止直流偏置和高频 RF 信号串扰,同时也提供热隔离,防止激光器发热影响 EAM。

DFB 与 EAM 之间 250 μm InP 沟道波导提供电隔离与热隔离 图6

整个 InP 膜层只有 340 nm 厚,上下被 SiO₂ 包层包住,光场限制非常强。封装上,NTT 把 EIC 埋进基板里,PIC 通过短堆叠过孔倒装焊在 EIC 上。

340 nm 厚 InP 膜层被 SiO2 包层、PIC 倒装焊于 EIC 的封装示意 图7

这种集总驱动设计不需要功耗大的终端电阻,很适合高密度 CPO 集成。

当 PIC 温度在 35 °C 时,激光器阈值电流很低,只有 4 mA。激光器偏置 17 mA、EAM 偏置 -0.82 V 时,光纤输出功率是 0.29 mW。

激光器阈值电流与输出功率特性曲线 图8

不过 0.29 mW 约 -5.4 dBm,出片功率有些偏低。特别是对 CPO 内置光源来说,以后扩通道或者上更高速率,功率可能会先成为瓶颈。

薄膜 EAM 结电容极低,原生电光带宽能到 103 GHz。但 NTT 这次的 Tx 发射模块在 19.5 mA 偏置下,实测 3-dB 带宽只有 24.2 GHz。

Tx 发射模块 3-dB 电光带宽实测曲线 图9

但即便如此,这一带宽也完全能够满足 32-GBaud PAM-4(即 64 Gbit/s)的调制需求。

最后,NTT 用这款 PIC 连上 Ge-PD 集成的 Rx 芯粒,验证了 14 m 标准单模光纤传输。14 m 对 CPO 的 Scale-up 场景来说已经够用了。整体功耗上,Rx 端 PD-TIA 是 22.3 mW,折合 0.35 pJ/bit。所以系统总能耗 = Tx (1.20) + Rx (0.35) = 1.55 pJ/bit。

产业界 CPO 功耗估计普遍是 5~6 pJ/bit,Broadcom 的「Advanced CPO」路线图到 2029 年才到 5 pJ/bit。Yole 汇总的 CPO 指标是 scale-out 5–7 pJ/bit、scale-up <1 pJ/bit。

最后再汇总对比一下从 2025 年到 2026 年 NTT 薄膜 DFB + EAM 调制器的性能进展。

2025 到 2026 年 NTT 薄膜 DFB + EAM 调制器性能进展汇总对比 图10

延伸阅读

  • NTT:支持 CPO 的薄膜 EAM 电吸收调制器进展
  • NTT:基于 SiN 平台的 μ-TP 可调谐薄膜 InP 激光器

参考文献

[1] S. Yamaoka, et al., “Energy-Efficient Optical Chiplet Link with Heterogeneously Integrated Membrane EA-DFB Laser Achieving 1.55 pJ/bit at 64-Gbit/s PAM-4,” ECOC 2026.

[2] T. Hiraki, et al., “Optical Chiplet with 0.75-pJ/bit Transmitter Using Membrane III-V Electro-absorption Modulators on Si and Differential CMOS Driver,” ECOC 2025.

[3] T. Aihara, et al., “4-ch × 400-Gbps PAM4 O-Band Membrane InGaAlAs EA-DFB Laser Array on a Si Photonics Platform,” OFC 2026, paper Th4A.1.

[4] T. Minotani, et al., “Over-8000-GHzΩ/mW-FoM Transimpedance Amplifier for Processor Interconnection,” OFC 2026, paper Th2A.2.

[5] Broadcom,OFC 2025.

[6] Yole,Co-packaged Optics for Data Centers,2025.

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Category: 技术文章

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李东霏
光互连技术研究者

香农信息技术研究院,专注光模块、CPO、硅光与 AI 光互连的技术解读。

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