高对比度光栅与多模/单模 VCSEL

本文要点

• 高对比度光栅（HCG：High-Contrast Grating）。
• 该结构采用 HCG 替代传统顶部 DBR，并通过下方氧化层形成光学隔离，实现大孔径下的模式控制。