如何将VCSEL的光耦合到PIC晶圆平面内呢？

VCSEL 是光子集成电路 (PIC) 的理想光源。然而VCSEL 发射垂直于晶圆平面，而 PIC 位于晶圆平面内。因此如何将VCSEL的光耦合到PIC晶圆平面内呢？

目前，从VCSEL到平面内PIC的光耦合至少有 4 种方法。第一种最直接的方法是使用端到端耦合，将 VCSEL 放置在平面内波导的末端。构建光斑尺寸转换器以减少 VCSEL 和面内波导之间的耦合损耗。如下图所示是基于 SOI 平台的 VCSEL 和 PIC 之间的端到端耦合。

为了保证 VCSEL 和硅波导之间的高耦合效率，始终采用 PIC 侧的光斑尺寸转换器第二种方法是使用 45° 微反射器将垂直入射光从位于波导顶部表面的 VCSEL 引导到平面内波导。45° 微反射器可以机械或通过蚀刻制造，但耦合效率是一个非常关键的问题。