垂直耦合&边缘耦合：基于 MEMS 的悬臂式边缘耦合器

本文要点

• 目前，硅波导的尺寸可以做到几十nm那么小，而一根标准单模光纤的直径却有125μm，它中间用于传输光信号的纤芯，直径也在10μm左右。
• 正是因为光纤纤芯和硅波导在尺寸上差别非常大，当光直接从光纤纤芯进入硅波导的时候，就会产生很明显的传输损耗。
• 通常来说，根据光纤和光子芯片之间位置的不同，主要分成两种耦合方式：一种是垂直耦合，也叫面外耦合；另一种是边缘耦合，也叫对接耦合或面内耦合。