硅外延层和衬底是半导体制造过程中的两个重要组成部分。衬底是半导体芯片制造的基础,主要由单晶硅材料制成。硅外延层是在衬底上加工生长的一层硅材料,其材料特性与衬底相同。二者在成份、结构和性质上都有所不同。
一、衬底
衬底(substrate)是由半导体单晶材料制造而成的晶圆片,衬底可以直接进入晶圆制造环节生产半导体器件,也可以进行外延工艺加工生产外延片。衬底是晶圆(把晶圆切开,就可以得到一个个的die,再封装好就成为传说中的芯片)最底下(其实芯片的最底部一般还会镀上一层背金,用做“地”连通,但是是在后道工序中制作的),承载整个支撑作用的底座(芯片里的摩天大楼就是建立在衬底之上的)。
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Category: 技术文章
